TMC主動(dòng)消振平臺系統Stage-Base

TMC繼續在先進(jìn)技術(shù)的基礎上開(kāi)發(fā)新的解決方案，以滿(mǎn)足半導體工具對其隔振系統提出的挑戰性要求。Stage-Base 450是專(zhuān)為帶高精度電動(dòng)X(jué)-Y平臺的高級半導體工具而設計的主動(dòng)消振系統。這些工具不但需要極其有效的消振性能，它們還要求由平臺引起的有效載荷運動(dòng)能夠非常快速地穩定，以最大限度地提高工具吞吐量。通過(guò)增加帶有前饋控制的VCM，可以縮短穩定時(shí)間，進(jìn)一步提高吞吐量，從而為移動(dòng)平臺應用提供*先進(jìn)的主動(dòng)振動(dòng)和運動(dòng)消除系統。

TMC主動(dòng)消振平臺系統Stage-Base 450優(yōu)勢

Stage-Base 450采用了下一代主動(dòng)硬安裝壓電消振集成音圈技術(shù)。只有TMC可以提供這種*特的高級低頻消振串行型技術(shù)，通過(guò)使用音圈電機（VCM），實(shí)現了主動(dòng)移動(dòng)平臺運動(dòng)消除。

Stage-Base 450下一代主動(dòng)控制系統采用TMC的STACIS技術(shù)，使用壓電致動(dòng)器和串行式架構中的剛性懸架實(shí)現了*越的消振。這實(shí)現了始于0.6 Hz的業(yè)內最佳地面隔振，響應于平臺力的初始偏轉明顯更小。

規格

●采用*特的STACIS®技術(shù)

●采用高力、加長(cháng)行程的壓電致動(dòng)器

●有效載荷的位置可重復性在微米以?xún)?/span>

●框架安裝設計

●6個(gè)主動(dòng)自由度

●可選的VCM前饋和/或反饋

●始于0.6 Hz的主動(dòng)隔振

●響應平臺運動(dòng)的快速穩定時(shí)間

●無(wú)軟空氣懸架

●通過(guò)USB 2.0實(shí)現基于PC的圖形用戶(hù)界面（GUI）的高速數字控制器

●簡(jiǎn)單、堅固且經(jīng)濟高效

性能

應用照片