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TMC地面式主動(dòng)隔振平臺STACIS Quiet Island
半導體制造工廠(chǎng)、納米技術(shù)中心、納米工廠(chǎng)和其他精密制造和研究中心通常將潔凈室與活動(dòng)假地面系統結合在一起，以滿(mǎn)足復雜的設施要求（管道、電纜、燃氣管道等）和保持嚴格的清潔標準。這種地面不適用于對振動(dòng)敏感的生產(chǎn)、檢測和計量設備?；顒?dòng)地面無(wú)法為這些工具提供必要的安靜振動(dòng)環(huán)境。TMC的Quiet Island用一個(gè)固定在下面底層地面上的“安靜島"替換一部分活動(dòng)地面區域，提供了一種創(chuàng )新的解決方案。Quiet Island包括一個(gè)兼容潔凈室的平臺頂部和一個(gè)應用和現場(chǎng)特定的支撐結構。
消振
Quiet Island*有的主要支撐元件和核心技術(shù)都集成在STACIS III主動(dòng)消振系統中。這種“剛性"式慣性消振支撐系統是任何振動(dòng)敏感型儀器的理想選擇，它使此類(lèi)工具能夠在嘈雜的環(huán)境中以最高標準運行。STACIS III兼容自動(dòng)化晶圓加工工具、高分辨率電子束成像工具、離子束銑削工具以及任何帶有被動(dòng)或主動(dòng)內部隔振系統的工具（請參閱我們關(guān)于在主動(dòng)隔振器上堆疊主動(dòng)隔振器的*皮書(shū)）。此外，它還提供了最寬頻率范圍內的最大隔振性能。并且“硬安裝"設計非常堅硬，因此對于較高、上重下輕的工具，不會(huì )出現穩定性問(wèn)題。
立管和支架
用于支撐STACIS隔振器的極其堅固耐用的立管由TMC經(jīng)驗豐富的工程團隊設計，并由我們的ISO 9001工廠(chǎng)按照高標準和焊接認證規格制造。每個(gè)Quiet Island都經(jīng)過(guò)精心設計，適合各種活動(dòng)地面高度、底層地面幾何形狀和工具尺寸。TMC在全球安裝了數千個(gè)支撐200多種不同儀器型號的裝置，擁有豐富的知識和經(jīng)驗，可以設計滿(mǎn)足STACIS和您設施需求的支撐結構。
剛性平臺
該平臺由一個(gè)經(jīng)TMC設計和制造的4英寸（100毫米）厚的鋼板夾層組成，其中鋼板夾在一種輕質(zhì)、不可壓縮、阻尼的芯材料周?chē)?。剛性鋼板和芯用環(huán)氧樹(shù)脂粘合到一個(gè)無(wú)縫不銹鋼盤(pán)中的分層效果提供了*高的剛度和結構阻尼。大橫截面和鋼含量產(chǎn)生了非常高的整體剛度。頂部和側面是一個(gè)連續的一體式不銹鋼外殼，以保持清潔、美觀(guān)和完整性。TMC可根據需要設計和制造特定于應用的平臺，包括切口、特殊形狀、固定孔和吊環(huán)螺栓。
TMC地面式主動(dòng)隔振平臺STACIS Quiet Island的Quiet Island的優(yōu)勢
采用STACIS - TMC業(yè)界*先的主動(dòng)壓電消振技術(shù)、“硬安裝"設計和始于0.6 Hz的隔振與內置隔振器的工具兼容。
模塊化、定制和重新定位的靈活性 - 每個(gè)平臺都根據客戶(hù)的應用量身定做，但與混凝土平臺不同，如果工具或地面特性發(fā)生變化，這些平臺可以很容易地重新進(jìn)行配置。
專(zhuān)業(yè)知識 - TMC擁有與*界*先的半導體制造商、科研機構和超精密OEM合作的豐富經(jīng)驗。我們了解客戶(hù)及其需求。我們自己設計和制造。
性能
在24英寸高、40英寸 x 60英寸的Quiet Island、4座STACIS支架上、來(lái)自地面的VC-C輸入下測量傳遞率
性能規格
主動(dòng)自由度 | 6 |
主動(dòng)帶寬 | 0.6 Hz - 150 Hz |
被動(dòng)固有頻率 | 18 Hz垂直和水平 |
有效的主動(dòng)共振頻率 | 0.5 Hz |
1 Hz時(shí)的隔振 | 40% - 70% |
≥2 Hz時(shí)的隔振 | ≥90% |
10磅（4.5千克）步進(jìn)輸入后的穩定時(shí)間（減少10:1） | 0.3秒 |
內部噪音 | <0.1 nm="" rmsd=""> |
每個(gè)隔振器的工作負載范圍 | 低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克） |
剛度（1000磅/454千克質(zhì)量、中等承重能力隔振器） | 40,000磅/英寸(73 x 105牛/米) |
從距離隔振器最大4英寸（102毫米）處發(fā)射的磁場(chǎng) | <0.02 g="" broadband="" rmsd=""> |
隔振器設計、尺寸、環(huán)境和效用要求
環(huán)境和安全 | 符合CE和RoHS標準 |
主動(dòng)隔振元件 | 最小承重能力為3300磅（1500千克）的壓電致動(dòng)器接收來(lái)自高壓放大器的信號，其輸出高達800 VDC。垂直執行器支撐隔振的有效載荷 |
被動(dòng)隔振元件 | 單個(gè)硬質(zhì)各向同性彈性體（無(wú)需壓縮空氣源） |
振動(dòng)傳感器元件 | 向下的地震檢波器型慣性傳感器，用于測量隔振器下方的地面振動(dòng)，并提供與振動(dòng)運動(dòng)速度成正比的電壓 |
主動(dòng)反饋控制回路 | 在支撐隔振表面的彈簧下方測量、處理和衰減地面振動(dòng) |
隔振器尺寸（寬x深x高） | 11.75 x 12.5 x 10.8英寸 |
隔振器重量 | 75磅（34千克） |
工作溫度 | 50° - 90° F |
儲存溫度 | -40° - 130° F |
濕度 | 30 - 60% |
系統電源要求 | 100、120、230、240 VAC |
地面位移 | <480μin. below="" 10hzd=""> |
每個(gè)系統的隔振器數量 | 至少3個(gè) |
可選附件 | 層壓不銹鋼平臺、框架、立管、調平裝置、抗震裝置、提升罩 |
尺寸（寬 x 深 x 高） | 19 x 8.5 x 1.75英寸 |
重量 | 6.3磅（2.9千克） |
處理器 | 150/75 MHz雙核 |
采樣率 | 10 kHz |
模擬輸出 | 16個(gè)通道 |
模擬輸入 | 16個(gè)通道 |
狀態(tài)燈 | 單個(gè)LED |
前面板端口 | 1個(gè)串行USB 2.0 |
后面板端口 | 1個(gè)串行USB 2.0 |
用戶(hù)界面 | 前面板液晶顯示屏 |
其他參數
平臺表面 | 不銹鋼表面頂部和側面； |
平臺結構 | 專(zhuān)有的多層層壓鋼板 |
尺寸 | 量身定制 |
標準高度 | 15、18、20、24、30、36、48英寸 |
負載能力 | 量身定制 |
剛性立管和支架 | 獲認證的焊接、全鋼結構， |
可選附件 | 限制支架、平臺頂部吊環(huán)螺栓， |
平臺頂部版本 | 切口、通孔、用于固定工具的螺紋孔 |
其他Quiet Island配置
不具有環(huán)境振動(dòng)規格的大型儀器通常需要一個(gè)與活動(dòng)地面分開(kāi)的剛性且穩定的支架。剛性Quiet Island是理想的解決方案。剛性Quiet Island具有相同的高性能平臺頂部，也可為任何高度、任何底層地面幾何形狀的活動(dòng)地面潔凈室以及各種工具尺寸定制設計。TMC提供一系列不同類(lèi)型的支柱，以滿(mǎn)足各種需求，從而形成了特定于儀器和工廠(chǎng)的模塊化、可靈活地重新定位和升級的解決方案。
應用照片
由于安裝在我們Quiet Island®底層地面平臺上設備的復雜性、敏感性和價(jià)值，我們未創(chuàng )建用于訂購的標準目錄號。我們認為應為特定應用定制設計每個(gè)平臺。建議的訂購步驟如下：
●告訴我們您要隔離的設備或儀器。由于我們已安裝了成千上萬(wàn)的裝置，我們可能已有滿(mǎn)足您應用要求的平臺設計。此外，我們還與步進(jìn)器、對準器、SEM和其他工具制造商保持密切聯(lián)系，因此，我們了解最新的尺寸、形狀、重量變化和地面振動(dòng)規格。
●或者，您可能想要一個(gè)適合活動(dòng)地面網(wǎng)格系統的平臺?？蛻?hù)通常選擇47 x 47英寸（1,190 x 1,190毫米）的平臺來(lái)替換偶數塊地磚。
●告訴我們您的活動(dòng)地面高出堅實(shí)底層地面的高度。
●請向我們描述或提供一個(gè)顯示您底層地面或鋼梁/格子板幾何形狀中的任何孔圖案的插圖。
●請向我們提供地面振動(dòng)數據或與我們討論如何安排測量這些數據。
●考慮儀器的振動(dòng)靈敏度。我們的剛性、非共振支柱設計為許多工具提供了充分的支撐。更敏感的應用將需要空氣或壓電支撐
